晶圆载具要上灌胶，智能视觉自动灌胶机和普通机型差在哪 - 资讯中心

晶圆载具这种工件，说难不难，说简单也不简单。智能视觉自动灌胶机能做，但前提是把来料公差与定位说清楚：批量多大、来料公差多少、允不允许人工补料。这三件事没定，选型就是拍脑袋。晶圆载具的工艺窗口不宽。智能视觉自动灌胶机要先把灌封气泡率稳住，再谈节拍；如果一来就追产能，参数会被迫放宽，缺陷率跟着上来。

计量与混合比，先拆成几个变量

从晶圆载具的实际工况看，晶圆载具灌封出现局部不干，先查配比而不是查胶水。智能视觉自动灌胶机的动态混合靠混合管，静态混合靠螺旋元件，两者都要求流量稳定；流量忽大忽小，混合比就会在瞬间漂移。建议每班用打点称重法校验一次出胶比例，记录A、B组份重量，别只看设备屏幕。

按半导体产线的做法，灌胶产能常被固化时间卡住，而不是灌胶机本身。智能视觉自动灌胶机一小时能灌500件，但固化炉只能放18件，前后就堵住了。算产能要把“灌胶—静置—固化”整段一起算，晶圆载具这种厚胶件尤其要留足静置位。

在这类灌胶工位上看，晶圆载具灌封后切开看，空洞多出现在元件底部和窄缝，分层多出现在胶与壳体界面。前者是夹气，后者是表面污染或胶温太低。智能视觉自动灌胶机能控制的是灌注路径和真空，来料清洁和壳体脱模剂要在前段解决。

把上表的参数带进晶圆载具的实际工况，智能视觉自动灌胶机的配置重点就清楚了：先保证灌封气泡率，再谈节拍与稳定性。

现场测算过：晶圆载具一件有99个灌胶点位，单点1.5秒，加上取放和换型，智能视觉自动灌胶机一班实际产出约为理论值的60%。

从验收角度看，晶圆载具的灌封边界靠治具定义。挡胶条要耐温、不粘胶，位置差0.5mm就会溢胶；壳体壁薄时，夹具压力过大会让壳体变形，灌出来的胶面不平。智能视觉自动灌胶机的台面要能承重，大件灌胶时不能有抖动。

验收要带真实来料，不能拿挑过的样品跑。连续72小时里记录每次停机、每个不良，最后再看智能视觉自动灌胶机的节拍是否达标。

不确定智能视觉自动灌胶机适不适合晶圆载具，可以先寄 3～5 件真实工件做打样，1 天出效果、免费。电话 157-2874-0181，工程师按来料公差和节拍给配置建议。